半导体厂洁净工程 电子厂无尘车间装修施工咨询上海顺外

在半导体净化车间装修时，要求时根据行业不同，车间操作不同来划分等级来装修的。其中在半导体集成电路生产的光刻工序中，硅片露出在生产环境中，污染概率很高时元器件的废品率也会很高，所以为避免出现这种伤害，现阶段在超大规模半导体集成电路的洁净厂房中一般选用微环境，把加工工艺核心区隔离，在微环境的隔离区内做到所规定的空气洁净度等级和环境控制规定(M度、相对湿度、压力)。工作区域是由人和/或自动处理设备对晶片开展加工的区域，为保障作业区域内产品免被污染，一般选用单向流或微环境把人和露出的产品隔离。

一、基本要求

1、承担洁净厂房装修施工企业，应具有相应工程施工资质及其等级，并应具有完善的质量管理体系。?上海顺外净化科技有限公司施工资质齐全，所有项目均可通过第三方检测。

2、洁净车间的施工应按设计文件、合约的内容实施。当修改设计时，应经原设计单位的确认、签证，并得到建设单位的同意。

3、洁净车间施工前应根据具体工程项目的特点，制订施工方案和程序，做到各工种协调施工、阶段明确、交接清楚，确保整体施工质量和操作。

4、施工企业承担对洁净车间工程内各专业设计图纸进行深化的施工详图设计时，应执行现行国家标准《洁净车间设计规范》GB50073的相关规定，并应加强设计质量管理，具有质量管理体系，施工详图应得到原设计单位的书面同意或确认，并得到建设单位的同意后，方能进行施工。

5、洁净车间工程竣工验收的系统调试，应在建设单位和监理单位的共同参与下进行，由施工企业负责进行系统调试、检测，承担调试的单位应具有调试、检测专职技术人员和符合本规范规定的测试仪器。

二、半导体净化车间设计

设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体监测、EP级管道及BA级管道、供气管路尾气处理），压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理），电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），废水处理。

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